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          光學電子凈化工程

          光學電子凈化工程是將一定范圍內之空氣中的微塵粒子、有害空氣、細菌等污染物排除,并將室內之溫濕度、潔凈度、室內壓力、氣流速度與氣流分布、噪音震動及照明、靜電控制在某一需求范圍內而設計出的密閉空間。光學電子凈化工程已是半導體、精密制造、液晶制造、光學制造、線路板制造等行業不可或缺的主要設施。

          系統組成

          • 潔凈區

            空氣懸浮粒子濃度
            受控的限定空間

          • 潔凈輔助區

            凈化用房
            物料凈化室
            部分生活用房

          • 管理區

            辦公、值班
            及管理用房

          • 設備區

            凈化空調設備
            電氣設備
            冷熱設備和高純水
            高純氣管道設備

          等級標準

          潔凈室(區)空氣潔凈級別表

          潔凈室級別 塵粒最大允許數/立方米
          ≧0.5μm塵粒數
          ≧0.5μm塵粒數 微生物最大允許數
          (浮游菌/立方米)
          沉降菌/皿
          100級 3500 0 5 1
          1000級 350000 2000 100 3
          10000級 3500000 20000 500 10
          30000級 10500000 60000 1000 15

          光學微電子凈化工程換氣參數

          換氣次數 100000級≧15次
          10000級≧20次
          1000級≧30次
          壓差 主車間對相鄰房間≧5pa
          平均風速 10級、100級 0.3~0.5m/s 溫濕度 冬季﹥16℃
          夏季﹤26℃波動±2℃
          濕度45~65%
          GMP粉劑車間濕度在50%左右為宜
          電子車間濕度略高以免產生靜電
          噪音 ≦65db(A)
          新風補充量 新風補充量是總風量的10%~30%
          照度 300LX

          解決方案

          應用領域

          品牌展示

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